微弱な振動もカット

関東大震災の後には「十分な重さと剛性を持った」逆さにしても壊れないといわれるほどの耐震性を持つ建物も作られました． コストをかけても良い場合はそのような対策も可能ですが、現在はなかなかそのようなわけにも行きません． そこで、基礎から伝わる振動を防ぐためにノンブレンがさまざまな場所で採用されています．

位置決め時除震

  • 液晶製造装置や、半導体露光装置等、微細加工をともなう精密機械など、床からの振動を嫌う精密な設備の防振台として「エアークッション」と同等の低周波振動の絶縁に実績があります。 液晶製造装置や、半導体露光装置等、微細加工をともなう精密機械や、高精度な位置決めを行う装置の場合、わずかな振動も許されません。

検査時除震

  • 電子顕微鏡等を用いた拡大観測時や、微細製品検査時に、微弱な振動もカットします． また、インライン測定時の防振、精密はかりの防振時に